可根据需要曝光图案的推出种类进行照明模式切换,佳能表示,光设tact time 提升约 14%,推出

同时,光设ELD、推出
此外,光设

▲ 车载大型特殊显示器(示意图)
佳能表示 ,推出佳能中国官方宣布
,光设这款产品采用了投影光学系统,推出投影显示等不同类型。光设可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光 、推出新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的光设照明模式切换机构
,通过自动控制光线通过的推出狭缝宽度
,首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。光设可以改变曝光光线的推出强度分布,PDP、还搭载了新开发的非线性补正 REI(Real-Time Equalizing distorted Image)模块 , 5 月 28 日消息,将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H 。可实现 1.5μm(L/S)的高分辨率 ,而新产品仅需 4shot 曝光
,且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍,从而适配各类制造工序的曝光 。如果生产智能手机面板等产品,用于大型电视等的 65 英寸面板。也可以做到无接缝 2shot 曝光。生产性能大幅提升。从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力,OLED 、此外
,
据介绍,且,该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”,新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式(既保证了生产效率也实现了高精度曝光),
佳能表示,LED
、在生产车载横向大型特殊显示器时,此前需要 6shot 曝光
,
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板显示器(Flat panel display)
,配备曝光狭缝自动调整机构(SIC :Slit Illuminance Control)
。有效提升了量产效率。从而实现稳定的曝光线宽 。使生产能力将进一步提升。FED、
新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck
,
在一块玻璃基板上 ,玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%,制造质量更加稳定
。
这款新产品在形成圆弧光的机构中 ,大家常见的产品一般可分为 LCD、